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篤摯儀器（上海）有限公司
聯(lián)系人：朱經(jīng)理
手機：15921165535
電話(huà)：86-021-58951071
傳真：86-021-50473901
地址：上海市浦東外高橋自貿區富特東三路526號5號樓311室
郵箱：814294500@qq.com
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產(chǎn)品中心
| 品牌 | 其他品牌 | 應用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車(chē) |
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康寧平面度儀Tropel FlatMaster 100
平面度儀測量多種不同指標：
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線(xiàn)輪廓/表面輪廓；完整的分析系統：
?三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
康寧Corning Tropel FlatMaster平面度儀應用領(lǐng)域：
?實(shí)現單個(gè)或多個(gè)平面的光學(xué)非接觸一次性測量；
?適用多種類(lèi)型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料；
?適用多種類(lèi)型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/**化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰；
?適用多種類(lèi)型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面；
美國康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀也稱(chēng)為平整度儀、平坦度儀，為精密部件的制造商提供了業(yè)界**的表面形態(tài)測量。通過(guò)非接觸式光學(xué)測量技術(shù)記錄下整個(gè)表面的數據。康寧Corning Tropel Flat Master平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線(xiàn)型和其他表面參數進(jìn)行測量。可以實(shí)現自動(dòng)、快速、準確、穩定的測量，超過(guò)20年的工業(yè)應用，幾百臺的裝機量。Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線(xiàn)型、半徑和其他表面參數進(jìn)行精密測量。
平面度儀可測量技術(shù)參數：
| 精度 | 50nm （2.0μ″） |
| 重復性 | 15 nm（0.6μ″）（1 sigma） |
| 分辨率 | 5nm （0.2μ″） |
| 可測量工件尺寸 | 5mm-100mm |
| 動(dòng)態(tài)測量范圍 | >100um |
| 測量數據點(diǎn) | 230,000 |
| 測量時(shí)間 | 5秒 |
| 電源 | ～220V 50Hz |
