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tropel flatmaster 200平坦度檢測設備

  • 更新時(shí)間:2021-01-21
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tropel flatmaster 200平坦度檢測設備
美國TROPEL FlatMaster 200平面度測量系統/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物應用光學(xué)等材料科學(xué)和制程藝領(lǐng)域的知識,Flat Master平整度儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的表面形態(tài)測量。能夠對各種表面的平面度、線(xiàn)型和其他表面參數進(jìn)行測量。

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tropel flatmaster 200平坦度檢測設備

 

美國康寧Corning Tropel FlatMaster 200平面度測量系統也稱(chēng)為平面度儀、平整度儀、 平坦度儀 ,為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的平面度及表面形態(tài)測量。通過(guò)非接觸式光學(xué)測量技術(shù)能在很短的時(shí)間內記錄下整個(gè)表面的數據。Flatmaster 200平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線(xiàn)型、半徑和其他表面參數進(jìn)行精密測量。美國TROPEL FlatMaster 200平面度測量系統/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物應用光學(xué)等材料科學(xué)和制程藝領(lǐng)域的知識,Flat Master平整度儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的表面形態(tài)測量。能夠對各種表面的平面度、線(xiàn)型和其他表面參數進(jìn)行測量。

 

在使用時(shí)有如下特性

測量多種不同指標:
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線(xiàn)輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統:
?三維/ 拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實(shí)現自動(dòng)、 快速、準確、穩定且靈活的測量

應用領(lǐng)域如下

?無(wú)接觸和無(wú)損傷測量
?適用多種類(lèi)型材料:半導體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
?適用多種類(lèi)型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
?適用多種類(lèi)型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面

FLATMASTER 200平面度儀技術(shù)參數

精度50nm (2.0μ″)
重復性15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
分辨率5nm (0.2μ″
可測量工件尺寸5mm-200mm
動(dòng)態(tài)測量范圍>100um
測量數據點(diǎn)230,000
測量時(shí)間5秒 
電源~220V 50Hz
標準測量球面半徑.平面度、線(xiàn)輪廓、表面粗糙度、

 

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