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篤摯儀器（上海）有限公司
聯(lián)系人：朱經(jīng)理
手機：15921165535
電話(huà)：86-021-58951071
傳真：86-021-50473901
地址：上海市浦東外高橋自貿區富特東三路526號5號樓311室
郵箱：814294500@qq.com
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產(chǎn)品中心
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車(chē) |
tropel flatmaster 200平坦度檢測設備
美國康寧Corning Tropel FlatMaster 200平面度測量系統也稱(chēng)為平面度儀、平整度儀、 平坦度儀 ,為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的平面度及表面形態(tài)測量。通過(guò)非接觸式光學(xué)測量技術(shù)能在很短的時(shí)間內記錄下整個(gè)表面的數據。Flatmaster 200平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線(xiàn)型、半徑和其他表面參數進(jìn)行精密測量。美國TROPEL FlatMaster 200平面度測量系統/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物應用光學(xué)等材料科學(xué)和制程藝領(lǐng)域的知識，Flat Master平整度儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的表面形態(tài)測量。能夠對各種表面的平面度、線(xiàn)型和其他表面參數進(jìn)行測量。
在使用時(shí)有如下特性
測量多種不同指標:
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線(xiàn)輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統:
?三維/ 拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實(shí)現自動(dòng)、 快速、準確、穩定且靈活的測量
應用領(lǐng)域如下
?無(wú)接觸和無(wú)損傷測量
?適用多種類(lèi)型材料:半導體，金屬，聚合物，陶瓷,玻璃和其它材料
?適用多種類(lèi)型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
?適用多種類(lèi)型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面
 |  |
FLATMASTER 200平面度儀技術(shù)參數
| 精度 | 50nm （2.0μ″） |
| 重復性 | 15 nm（0.6μ″）（1 sigma） |
| 分辨率 | 5nm （0.2μ″ |
| 可測量工件尺寸 | 5mm-200mm |
| 動(dòng)態(tài)測量范圍 | >100um |
| 測量數據點(diǎn) | 230,000 |
| 測量時(shí)間 | 5秒 |
| 電源 | ～220V 50Hz |
| 標準測量 | 球面半徑.平面度、線(xiàn)輪廓、表面粗糙度、 |
